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產(chǎn)品中心導(dǎo)熱儀TLF-熱反射法薄膜導(dǎo)熱儀TF-LFA熱反射法薄膜導(dǎo)熱儀
產(chǎn)品簡(jiǎn)介：熱反射法薄膜導(dǎo)熱儀 TF-LFA L54采用頻域熱反射（FDTR）非接觸技術(shù)，專為精確表征納米至微米級(jí)薄膜材料的熱物性（導(dǎo)熱系數(shù)、熱擴(kuò)散系數(shù)等）而設(shè)計(jì)。尤其適用于半導(dǎo)體、熱電、LED等領(lǐng)域的功能性薄膜。技術(shù)優(yōu)良，無需樣品熱容和密度已知，即可實(shí)現(xiàn)對(duì)薄膜及界面熱阻的完整評(píng)估。
產(chǎn)品型號(hào)：TF-LFA
更新時(shí)間：2026-03-16
廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家
訪問量：23634
服務(wù)熱線86-021-50550642
薄膜是指厚度從納米到微米范圍的表面材料。由于厚度和溫度的影響，它們的熱物理性質(zhì)與塊狀材料差別很大。薄膜通常用于半導(dǎo)體、熱電材料、相變存儲(chǔ)器、發(fā)光二極管、燃料電池和光存儲(chǔ)介質(zhì)等行業(yè)中，這些行業(yè)應(yīng)用會(huì)在基底上沉積一層薄膜，以賦予設(shè)備特定的功能。
頻域熱反射導(dǎo)熱儀 TF-LFA，是林賽斯與德國(guó)亞琛工業(yè)大學(xué)合作研發(fā)的，是在時(shí)域熱反射法的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的新探測(cè)手段，F(xiàn)DTR（頻域熱反射）是一種在頻域內(nèi)對(duì)薄膜熱性能進(jìn)行非接觸表征的技術(shù)。使用了波長(zhǎng)為 532 nm 的連續(xù)激光（探測(cè)激光），同時(shí)使用不同波長(zhǎng)（405 nm）的調(diào)制泵浦激光對(duì)樣品進(jìn)行加熱。利用熱擴(kuò)散傳輸模型對(duì)頻域響應(yīng)進(jìn)行建模，可以確定薄膜的導(dǎo)熱系數(shù)、體積熱容、熱擴(kuò)散系數(shù)、傳熱效率和邊界導(dǎo)熱系數(shù)。
| 類型 | TF - LFA L54 |
| 樣品尺寸： | 2 mm x 2 mm 和 25 mm x 25 mm 之間的任意形狀 |
| 薄膜樣品： | 10 nm - 20 µm * （取決于樣品） |
| 溫度范圍： | RT， RT - 200 ℃ / 500 °C， 4'' 晶圓樣品支架（僅限于室溫） |
| 氣氛： | 惰性、氧化或還原，真空度可達(dá) 10E-4 mbar |
| 熱擴(kuò)散系數(shù)測(cè)量范圍： | 0.01 - 1200 mm2/s （取決于樣品） |
| 泵浦激光： | 泵浦激光器（405 nm，300 mW，調(diào)制頻率高達(dá) 200 MHz） |
| 探測(cè)激光： | CW Laser（532 nm，25 mW） |
| 檢測(cè)器： | Si 基光電探測(cè)器，有效直徑：0.2 mm，帶寬：DC - 400 MHz |
| 軟件： | 包含使用多層分析計(jì)算熱物理性質(zhì)的軟件包 |
| * 實(shí)際厚度范圍取決于樣品 |
企業(yè)名稱：林賽斯（上海）科學(xué)儀器有限公司
公司地址：上海市浦東新區(qū)陸家嘴數(shù)智天地·智慧谷T3棟120號(hào)
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